本文介紹了一種由雙(二乙基氨基)硅烷精制得高純度雙(二乙基氨基)硅烷的方法，該方法可以得到體積分?jǐn)?shù)99.999%的產(chǎn)品。

雙(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)可作為ALD膜的前驅(qū)體材料。目前作為二烷基氨基硅烷的制造方法，在由氯硅烷與二烷基胺的反應(yīng)而合成的方法中，除了目標(biāo)二烷基氨基硅烷以外，還大量副產(chǎn)二烷基胺的鹽酸鹽，因此在獲得目標(biāo)二烷基氨基硅烷時(shí)，需防止由于大量溶劑所造成的體積效率降低，從而廉價(jià)地大量制造。 作為使二烷基胺與氯硅烷反應(yīng)時(shí)的溶劑，使用對于反應(yīng)中所副產(chǎn)的二烷基胺的鹽酸鹽及金屬氯化物而言溶解度高的非質(zhì)子極性溶劑，及二烷基氨基硅烷的溶解度高、難以溶解鹵素化合物的直鏈狀烴或分支狀烴，藉此可體積效率高地制造鹵素含量少的二烷基氨基硅烷。