雙(二乙基氨基)硅烷
| 中文名稱 | 雙(二乙基氨基)硅烷 |
|---|---|
| 中文同義詞 | 雙(二乙氨基)二氫硅烷;雙(二乙基氨基)硅烷;雙(二乙氨基)硅烷;N,N,N',N'-四乙基硅烷二胺;雙(二乙基胺基)硅烷 |
| 英文名稱 | Bis(diethylamino)silane |
| 英文同義詞 | SilanediaMide, N,N,N',N'-tetraethyl;BIS(DIETHYLAMINO)SILANE;Bis(diethylaMino)silane, 97% BDEAS;BDEAS;Bis(diethylamino) Silane Liquid;Bis(diethylamino)silane, 99% (99.999%-Si) BDEAS PURATREM;BDEAS: SiH2[N(CH2CH3)2]2;bis(diethylamino)dihydrosilane |
| CAS號 | 27804-64-4 |
| 分子式 | C8H22N2Si |
| 分子量 | 174.36 |
| EINECS號 | |
| 相關(guān)類別 | |
| Mol文件 | 27804-64-4.mol |
| 結(jié)構(gòu)式 |  |
雙(二乙基氨基)硅烷 性質(zhì)
| 沸點(diǎn) | 70°C (30mm) |
|---|---|
| 密度 | 0.804 |
| 形態(tài) | 液體 |
| 酸度系數(shù)(pKa) | 10.31±0.70(Predicted) |
| 比重 | 0.804 |
| 顏色 | 無色 |
| 敏感性 | air sensitive, moisture sensitive |
| 水解敏感性 | 8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents |
| InChI | InChI=1S/C8H22N2Si/c1-5-9(6-2)11-10(7-3)8-4/h5-8,11H2,1-4H3 |
| InChIKey | OWKFQWAGPHVFRF-UHFFFAOYSA-N |
| SMILES | [SiH2](N(CC)CC)N(CC)CC |
雙(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)可作為ALD膜的前驅(qū)體材料。目前作為二烷基氨基硅烷的制造方法，在由氯硅烷與二烷基胺的反應(yīng)而合成的方法中，除了目標(biāo)二烷基氨基硅烷以外，還大量副產(chǎn)二烷基胺的鹽酸鹽，因此在獲得目標(biāo)二烷基氨基硅烷時，需防止由于大量溶劑所造成的體積效率降低，從而廉價地大量制造。
作為使二烷基胺與氯硅烷反應(yīng)時的溶劑，使用對于反應(yīng)中所副產(chǎn)的二烷基胺的鹽酸鹽及金屬氯化物而言溶解度高的非質(zhì)子極性溶劑，及二烷基氨基硅烷的溶解度高、難以溶解鹵素化合物的直鏈狀烴或分支狀烴，藉此可體積效率高地制造鹵素含量少的二烷基氨基硅烷。進(jìn)行精餾，此可獲得鹵素含量(氯)成分低的高品質(zhì)的二烷基氨基硅烷?，F(xiàn)有專利及文獻(xiàn)技術(shù)所使用雙(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)精制，大多使用精餾方式，雙(二乙基氨基)硅烷純度難以超過99.99%。
急性毒性 - 口服 - 類別3
急性毒性 - 吸入 - 粉塵/氣霧 - 類別4
急性毒性 - 吸入 - 蒸氣 - 類別4
急性毒性 - 吸入 - 氣體 - 類別4