電子級 **DTPA**（二乙烯三胺五乙酸，Diethylenetriaminepentaacetic acid）是一種高純度螯合劑，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子元器件制造及光伏等領(lǐng)域，主要用于去除金屬離子污染物，確保工藝潔凈度。
3. 主要應(yīng)用
- 半導(dǎo)體清洗：
- 用于晶圓加工中的 RCA清洗（替代或輔助EDTA），去除過渡金屬離子。
- 刻蝕后清洗，防止金屬再沉積。
- 光刻膠去除：輔助剝離殘留的光刻膠及金屬污染物。
- PCB/平板顯示制造：
- 電鍍液添加劑，改善鍍層均勻性。
- 蝕刻液穩(wěn)定劑，延長槽液壽命。
- 光伏產(chǎn)業(yè)：硅片清洗，提升太陽能電池效率。
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