三氯氫硅又稱三氯硅烷、硅氯仿，用作高分子有機(jī)硅化合物的原料。
三氯氫硅不僅是制造硅烷偶聯(lián)劑和其它有機(jī)硅產(chǎn)品的重要中間體，還是制造多晶硅的主要原料。硅烷偶聯(lián)劑是一種重要的、高科技含量、高附加值的有機(jī)硅復(fù)合材料，通過硅烷偶聯(lián)劑可使非交聯(lián)樹脂實(shí)現(xiàn)交聯(lián)固化或改性，因此在玻璃纖維、鑄造、輪胎橡膠等行業(yè)得到了日益廣泛的應(yīng)用。生產(chǎn)三氯氫硅的主要副產(chǎn)品四氯化硅也是制造有機(jī)硅的主要原料，它的制成品有硅酸酯、有機(jī)硅油、高溫絕緣漆、有機(jī)硅樹脂、硅橡膠和耐熱墊襯材料等。高純的四氯化硅還是制造高純二氧化硅、無(wú)機(jī)硅化合物、石英纖維以及光導(dǎo)纖維的重要原料。
多晶硅產(chǎn)品的主要用途：(1)可做成太陽(yáng)能電池，將輻射能轉(zhuǎn)變?yōu)殡娔埽?2)高純的晶體硅是重要的半導(dǎo)體材料；(3)金屬陶瓷、宇宙航行的重要材料；(4)光導(dǎo)纖維通信，最新的現(xiàn)代通信手段；(5)性能優(yōu)異的硅有機(jī)化合物。

三氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性惡臭易流動(dòng)易揮發(fā)的無(wú)色透明液體。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有著火的危險(xiǎn)，遇明火則強(qiáng)烈燃燒，燃燒時(shí)發(fā)出紅色火焰和白色煙，生成SiO2、HCl和Cl2：SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2；三氯硅烷的蒸氣能與空氣形成濃度范圍很寬的爆炸性混合氣，受熱時(shí)引起猛烈的爆炸。它的熱穩(wěn)定性比二氯硅烷好，在900℃時(shí)分解產(chǎn)生氯化物有毒煙霧(HCl)，還生成Cl2和Si。遇潮氣時(shí)發(fā)煙，與水激烈反應(yīng):2SiHCl3+3H2O→(HSiO)2O+6HCl；在堿液中分解放出氫氣：SiHCl3+3NaOH+H2O→Si(OH)4+3NaCl+H2；與氧化性物質(zhì)接觸時(shí)產(chǎn)生爆炸性反應(yīng)。與乙炔、烴等碳?xì)浠衔锓磻?yīng)產(chǎn)生有機(jī)氯硅烷：SiHCl3+CH≡CH→CH2CHSiCl3、SiHCl3+CH2=CH2→CH3CH2SiCl3；在氫化鋁鋰、氫化硼鋰存在條件下，SiHCl3可被還原為硅烷。容器中的液態(tài)SiHCl3當(dāng)容器受到強(qiáng)烈撞擊時(shí)會(huì)著火。可溶解于苯、醚等。無(wú)水狀態(tài)下三氯硅烷對(duì)鐵和不銹鋼不腐蝕，但是在有水分存在時(shí)腐蝕大部分金屬。吸入三氯氫硅蒸氣數(shù)分鐘后，表現(xiàn)興奮，呼吸反射障礙，呼吸器官有炎癥。濺在皮膚上可引起壞死，潰瘍長(zhǎng)期不愈。最高容許濃度為1 mg/m³(必須檢測(cè)HCl)。生產(chǎn)人員要穿著密閉型工作服，戴防毒口罩、密閉眼鏡、乳膠手套等勞保用品，防止呼吸器官、眼睛和皮膚的直接接觸。生產(chǎn)設(shè)備要密閉，車間通風(fēng)良好。下班后要洗淋浴，遵守個(gè)人衛(wèi)生。生產(chǎn)工人進(jìn)行就業(yè)前和定期體檢。無(wú)色液體。 溶于二硫化碳、四氯化碳、氯仿、苯等。用作高分子有機(jī)硅化合物的原料，也用于儀表工業(yè)制造有機(jī)硅化合物的原料，也是生產(chǎn)多晶硅的基本原料。沸騰氯化法 硅粉經(jīng)干燥后加入氯化沸騰爐，與通人爐中的干燥氯化氫氣體在340℃進(jìn)行反應(yīng)。生成的粗三氯氫硅經(jīng)濕法除塵器、列管冷凝器去蒸餾塔分離四氯化硅，由蒸餾塔出來(lái)的三氯氫硅氣體經(jīng)冷凝，制得三氯氫硅成品。其
Si+3HCl→SiHCl3+H2易燃液體中毒口服-大鼠 LD50:1030毫克/公斤; 吸入-小鼠 LC50:1500毫克/立方米/2小時(shí)遇明火、高溫、氧化劑易燃; 遇水或高溫產(chǎn)生有毒氯化物和氟化物煙霧庫(kù)房通風(fēng)低溫干燥; 與氧化劑、酸類分開存放干粉、干砂、二氧化碳、泡沫