| 性狀 |
| 無色。易燃。有毒腐蝕性氣體，具有刺激性臭味。熔點(diǎn)-122℃。沸點(diǎn)8.2℃。氣體相對密度(空氣=1)4.599；液體相對密度d4}-122>。1.42。臨界溫度176.3℃。蒸氣壓力(20℃，絕對壓)0.15 Mpa。比容積(20℃，1.0133×105Pa)239 mI/g。在空氣中爆炸極限1.3％～98％。與水發(fā)生劇烈反應(yīng)。在濕空氣中水解，生成鹽酸霧。有強(qiáng)腐蝕性。 |
| 所屬類別 |
| 無機(jī)化工產(chǎn)品: 無機(jī)鹽: Cv電子工業(yè)用無機(jī)化工產(chǎn)品 |
| 用途與作用 |
| 用于半導(dǎo)體制造中，尤其是外延法工藝作為硅源。 |
| 合成工藝與制法 |
將硅粉和氯化氫按適當(dāng)比例進(jìn)行反應(yīng)，生成二氯二氫硅，經(jīng)蒸餾分離三氯氫硅，把得到的二氯二氫硅進(jìn)行精制，制得電子級高純二氯二氫硅成品。其反應(yīng)式如下：
Si+2HCl→SiH2C12 |
| 參考質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn) |
參考標(biāo)準(zhǔn)| 指標(biāo)名稱 | 指標(biāo) | | 電子級 | | 硼(B)/(mg/kg) | ＜0.3 | | 磷(P)/(mg/kg)＜ | 0.3 | | 四氯化硅(SiCl4)/%＜ | 0.1 | | 三氯氫硅(SiHC13)/%＜ | 0.2 |
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