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六氟乙烷(76-16-4)的性狀： 1.無色，不可燃氣體，不溶于水，溶于乙醇。沸點-78.2℃，熔點-100.6℃，臨界溫度19.7℃，常溫下(19.7℃)是壓縮氣體。 2.化學性質不活潑，在600℃以下與石英不反應，在842℃下還不全部分解。在處理六氟乙烷過程中，可按無毒氣體處理，但與可燃氣體一同燃燒時，分解產(chǎn)生有毒的氟化物。
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