蘇威Solvay Galden HT 70導(dǎo)熱液
一、產(chǎn)品介紹
蘇威Solvay Galden HT 70導(dǎo)熱液是一種全氟聚醚(PFPE)類介電流體。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
蘇威Solvay Galden HT 70導(dǎo)熱液具有以下優(yōu)點(diǎn):與金屬、陶瓷、塑料和彈性體兼容。流體粘度低,分子結(jié)構(gòu)中不含氫,吸水率低。非常適合直接浸入式冷卻和間接冷卻應(yīng)用。不易燃、無毒、對環(huán)境安全。這些特性使得Galden? HT 70 在需要嚴(yán)格控制溫度的晶圓加工工藝中,成為一種理想的導(dǎo)熱液選擇。
三、應(yīng)用領(lǐng)域
蘇威Solvay Galden HT 70導(dǎo)熱液由于其優(yōu)異的介電性能、高化學(xué)穩(wěn)定性以及在極低和高溫下運(yùn)行的能力,使其成為半導(dǎo)體和電子行業(yè)惡劣條件下的最佳傳熱流體。它適用于元件浸入、晶圓蝕刻、離子注入、雷達(dá)設(shè)備、變壓器、電源、六氟化鈾生產(chǎn)、冷卻器、冷卻塔和冷凍干燥機(jī)等應(yīng)用。Galden HT-70的工作溫度范圍為-70至70攝氏度。
四、技術(shù)參數(shù)
沸點(diǎn)
70 °C
流動點(diǎn)
<-110 °C
密度
1.68 g/cm3
運(yùn)動粘度
0.50 cSt
蒸氣壓
141 torr
比熱
0.23 cal/g°C
蒸發(fā)潛熱 (沸點(diǎn)附近)
17 cal/g
折光率
1.280
熱膨脹系數(shù)
0.0011 cm/cm3.C
表面張力
14 dyne/cm
導(dǎo)熱系數(shù)
0.065 W/m·K
介電強(qiáng)度
40 kV(2.54mm gap)
介電常數(shù)
1.86
體積電阻率
1*1015 Ohm*cm
平均分子量
410 amu
耗散因子
2*10-4
水溶解度
<10 ppm(wt)
空氣溶解度
26 cm3氣體/100 cm3 液體
上海鳴旭電子科技有限公司
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