Parylene 派瑞林涂層技術(shù)：
Parylene 是一種高性能的聚合物涂層材料，學(xué)名是聚對二甲苯，通過一種特別的化學(xué)氣相沉積（CVD）工藝涂覆在物體表面。這個過程在室溫、真空環(huán)境下進(jìn)行，生成的薄膜具有高度的保形性（能均勻覆蓋復(fù)雜形狀、銳邊、縫隙和針孔）、無針孔、透明、生物相容性好、化學(xué)惰性強(qiáng)、優(yōu)秀的電絕緣性和阻隔性能（防潮、防腐蝕氣體、防鹽霧等）。
Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備廣泛應(yīng)用于多個行業(yè)，包括航天航空、半導(dǎo)體、新能源、軍工、汽車、手機(jī)、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數(shù)碼及電子等領(lǐng)域。通過Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強(qiáng)度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。
PPS所提供的Parylene 派瑞林真空鍍膜系統(tǒng)具有以下優(yōu)勢：
1、在真空腔體中集成等離子源
2、兼容超凈間的系統(tǒng)設(shè)計
3、經(jīng)過驗證且具有完整可塑性的生產(chǎn)流程
4、可以提供從定制化的涂覆系統(tǒng)和量身定制的工藝開發(fā)，到全面的耗材、備件供應(yīng)以及長期的技術(shù)支持服務(wù)
我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備既有適用于科研領(lǐng)域的實驗型機(jī)型，也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領(lǐng)域的工業(yè)機(jī)型。同時，我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源，實現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M(jìn)行表面化處理，從而提高薄膜的粘附性。另外，我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設(shè)計，在小占地面積下提供高性能技術(shù)，節(jié)約大量的超凈間占地空間。
相關(guān)型號：
| 型號 | Series 100 | Series 300 | Series 2000 | Series 3000 | Series 3000 CR | Multi-chamber |
工藝腔體
DxH | 300x300mm | 450x500mm | 400x600mm | 700x800mm | 700x800mm | 300Lx300Wx300H（3個腔室） |
設(shè)備尺寸
LxWxH | 850x900x1600mm | 1050x1220x1920mm | 960x2600x1460mm | 2095x800x1450mm | 2095x800x1450mm | 1050x1220x1920mm |
| 冷卻系統(tǒng) | 4L機(jī)電冷卻阱 | 4L機(jī)電冷卻阱 | 8L機(jī)電冷卻阱 | 8L機(jī)電冷卻阱 | 8L機(jī)電冷卻阱 | 8L機(jī)電冷卻阱 |
| 泵系統(tǒng) | 10m3/h | 最大50m3/h | 10m3/h | 75m3/h | 75m3/h | 40m3/h（3臺） |
| 等離子源 |
| 2.45GHZ，最大600W | 選配 | 2.45GHz，最大1200W | 2.45GHz，up to 1200W | 2.45GHz/1200W；
13.56MHz/600W |
PPS 提供多樣化的定制化實驗室涂布設(shè)備，配備多種可選裝置與附加組件，旨在確保涂層工藝的成功實施、表面潔凈度以及涂層的均勻性和平滑性。我們的絕大多數(shù)系統(tǒng)均具備以下功能配置：
- 可定制腔體尺寸
- 支持選配等離子體源
- 配備冷卻系統(tǒng)及集成泵系統(tǒng)
Parylene System 3000 LV300 是一款模塊化設(shè)計的系統(tǒng)，主要由兩部分組成：腔室模塊與蒸發(fā)器模塊。我們眾多設(shè)備均采用此類模塊化設(shè)計，旨在確保系統(tǒng)的靈活性，從而能夠根據(jù)客戶需求對幾乎任何組件進(jìn)行定制化調(diào)整。其中，“3000”代表產(chǎn)品系列，而“LV300”則用于標(biāo)識機(jī)器腔室的尺寸規(guī)格。該尺寸設(shè)計主要取決于您單次運行中需要涂覆的基板尺寸及數(shù)量要求。 我們所提供的腔室最大容積可達(dá) 1000 升。此外，該系統(tǒng)標(biāo)配等離子源，并可選配旋轉(zhuǎn)工作臺、加熱/冷卻臺以及多達(dá) 3 個質(zhì)量流量控制器，以滿足不同氣體入口的需求。
一體化泵架能夠顯著減少顆粒物排放，從而為潔凈室在最嚴(yán)苛的環(huán)境下提供更為清潔和緊湊的整體解決方案。 該系統(tǒng)已被全球眾多潔凈室設(shè)施及高等院校廣泛采用，且其應(yīng)用范圍與使用數(shù)量仍在持續(xù)增長。
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那諾中國有限公司是一家高科技技術(shù)服務(wù)公司，專注于為大中華區(qū)域（包括中國大陸、香港、澳門和臺灣）的高校、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機(jī)構(gòu)提供基于飛行時間質(zhì)譜儀的高性能科學(xué)儀器。
我們可以提供高性價比的定制化儀器 ，因為我們能夠重復(fù)使用現(xiàn)有的設(shè)計模塊，這些來源于我們龐大的、 有據(jù)可查的后臺目錄中。這些預(yù)先存在的機(jī)械信息，結(jié)合所需要的任何一次性工程，使我們能夠根據(jù)客戶的具體要求生產(chǎn)出價格合理的儀器。
我們的飛行時間二次離子質(zhì)譜儀不僅適用于實驗室實驗，也適用于現(xiàn)場實時分析，在環(huán)境衛(wèi)生、工業(yè)和生產(chǎn)、生物科學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體、電子等行業(yè)均有廣泛的應(yīng)用。