熔點：1713℃（結晶型），無定形無固定熔點。
沸點：2950℃（升華）。
密度：2.65 g/cm3（結晶型），2.1-2.3 g/cm3（無定形）。
溶解性：不溶于水、酸（氫氟酸除外），溶于強堿溶液（如 NaOH）。
穩(wěn)定性：常溫下穩(wěn)定，耐酸、耐高溫，與氫氟酸反應生成四氟化硅和水。
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