三氯氧磷最常用于生產(chǎn)三芳基磷酸酯（如磷酸三苯酯和磷酸三甲苯酯），它們可用作阻燃劑及聚氯乙烯的增塑劑。也用于制取磷酸二苯-異辛酯、磷酸三乙酯等磷酸酯，塑料增塑劑，有機磷農(nóng)藥，長效磺胺藥物等。還可用作染料中間體，有機合成的氯化劑和催化劑。電子級三氯氧磷的用途在太陽能行業(yè)，集成電路，分離器件，光線預(yù)制棒等液態(tài)磷源也可制備磷酸酯。而三烷基磷酸酯如磷酸三丁酯（由1-丁醇通過類似反應(yīng)制?。﹦t是液液萃取的溶劑，用在核燃料后處理等工業(yè)中。
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