本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)主要用于薄膜厚度測量和表面化學(xué)分析（深度剖析）儀器設(shè)備的檢定/校準(zhǔn)、分析 方法的確認(rèn)與評價(jià)、技術(shù)仲裁測量以及測量質(zhì)量控制等。?

一、 樣品制備?

本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)系通過原子層沉積技術(shù)在單晶硅基底上生長二氧化硅納米薄膜成批制備而成，切割形成正方形片狀樣品（10mm×10mm×0.7mm）。?

二、 溯源性及定值方法?

本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)采用兩種國際公認(rèn)的不同原理方法（掠入射 X 射線反射測量和橢偏測量）進(jìn)行定值， 以兩種定值方法測量結(jié)果的總平均值作為標(biāo)準(zhǔn)值。通過使用滿足計(jì)量學(xué)特性要求的測量方法和計(jì)量 器具，保證標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)量值的溯源性。 三、 特性量值及不確定度

四、 均勻性及穩(wěn)定性評估?

參照 JJF1343 國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范（等效 ISO 指南 35），采用定值方法，按照隨機(jī)抽樣原則對樣品 進(jìn)行均勻性評估，評估結(jié)果表明樣品均勻性良好；采用定值方法，對樣品進(jìn)行穩(wěn)定性評估，評估結(jié) 果表明樣品穩(wěn)定性良好。 本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)自定值日期起有效期 3 年，研制單位將繼續(xù)跟蹤監(jiān)測該標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的穩(wěn)定性，有效期 內(nèi)如發(fā)現(xiàn)量值變化，將及時(shí)通知用戶。?

五、 包裝、貯存及使用?

本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)固定放置在氟化聚丙烯圓盒中，圓盒真空密封包裝于鋁箔袋內(nèi)，每盒 1 片。貯存在 陰涼干燥的室溫環(huán)境條件下，運(yùn)輸過程中必須保持包裝的完整，使用過程中必須保持樣品表面清潔。