常用名 四甲基氫氧化銨
別 名 四甲基氫氧化銨|顯影液TMAH
英文名 Tetramethylammonium hydroxide
CAS號 75-59-2
EINECS 200-882-9
分子式 C4H13NO
分子量 91.152
含量 25%水溶液
碳酸根離子<100ppm
氯離子<10ppm
沸點 110°C
閃點 80°C
密度 0.866
性狀 無色液體
用 途
1.用作極譜分析試劑
2.用作計算機硅片面的光亮劑、觸刻劑等
3.在電子行業(yè)中,廣泛用作硅晶片蝕刻劑、清洗劑、正膠顯影劑等
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